SJT 31075-1994 ED-401型装片机完好要求和检查评定方法
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ID： |
BB5B901311BE427CA64126F07C70B900 |
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文件大小(MB)： |
0.22 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31075-94,ED-40I型装片机完好要求和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 ED-401型装片机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于ED-401型装片机,其它半导体集成电路生产用的类似结构装片机也可参,照执行,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 主要技术指标完好要求见下表,序号检测项目完好要求检测器具和方法,J 工作台送进速度27mm/s 用直尺进行长度计量,秒表计时近2min,2 机器生产能力1. 4s/块用秒表计时,3 胶滴下位置差错0/360 块用时钟计时In,观察有无差错,4 装片精度,X—0- 3mm,Y=0. 3mm,Q&±3,用场5测量显微镜进行检测,2.2 操作系统,2. 2-1各操作变速手柄、开关、按钮启动灵活、定位可靠、标志齐全,2.2 -2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.3 传动系统,2. 3-1机械滑动链杆、凸轮运转正常可靠,2.3 .2上、下料装置运动可靠,引线框传送位置正确,无卡住现象。工作台运行可靠,2-4电气系统,2-4-1电气控制箱内布线整齐,各指示灯开关、按钮齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志,明显,线路无老化、破裂,联接可靠,,工作状态良好,显示清晰,2.4 -2电气线路板接触可靠,其它各种接触器,继电器动作灵敏可靠,输入/输出程序正确无,误,2.4- 3各光电传感器工作正常,无误动作,2.4.4芯片检测灵敏度符合工艺要求,2.4-5各电流表、电压表指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,2-5气路系统,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31075-94,2. 5.1各气缸、电磁阀安装位置正确,工作平稳、行程到位,不应有停滞和爬行现象,2. 5-2气路系统中各元件动作灵敏、可靠,2. 5. 3气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固、密封、无漏气现象,2.5.4各气体压力表头指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内检验合格证,2.6光学系统,2. 6-1显微镜调焦机构上、下升降灵活可靠,视场清晰。显微镜镜头齐全,无明显霉斑,视场清,晰,2.6 -2电视监示器图像清晰,识别系统工作可靠,2.7 安全防护,2. 7-1设备保护盖板、挡尘板齐全,完整、无损,牢固、可靠,2.7 -2各种联锁、报警装置灵敏,功能可靠;外壳接地可靠,2.8 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检査、评定方法,3.1检査方法,3.1-1主要技术指标的檢测方法见表,3.1- 2对完好要求除2.1.1项外,采用现场主观方法进行检査,3-2评定方法,3-2-1主要项目2.1.1项,其余均为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:张家明、顾军建、吴正伟,2……
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